点击右上角微信好友

朋友圈

请使用浏览器分享功能进行分享

正在阅读:制备芯片原材料,我国有了更大的“锅”
首页> 科技频道> 综合新闻 > 正文

制备芯片原材料,我国有了更大的“锅”

来源:科技日报2021-07-07 09:54

调查问题加载中,请稍候。
若长时间无响应,请刷新本页面

  随着技术人员操作机械臂,装载着一摞摞高纯钽靶材的巨型料架从设备缸体内缓缓升起……6月30日,位于浙江省余姚市,由宁波江丰电子材料股份有限公司(以下简称江丰电子)与四川航空工业川西机器有限责任公司(以下简称川西机器)联合研制的超大规格热等静压设备投产。

  “这是目前国内有效热区容积最大的热等静压设备,可制备长度4米的超长规格高纯溅射靶材。” 江丰电子董事长兼首席技术官姚力军博士介绍,该设备完全国产化,相关技术参数均达到国际先进水平,可为我国战略性新兴材料的自主可控提供关键的工艺装备。

  超大规格设备应需而生

  高纯溅射靶材是国家中长期发展规划中明确重点发展的战略性新兴材料,广泛应用于半导体芯片、平面显示器、太阳能电池、信息存储和光学应用等行业。

  近年来,国内开始出现少量专业从事高纯溅射靶材研发和生产的企业,突破靶材专业技术门槛,已在国内靶材市场占据一定份额。

  “一些知名品牌智能手机芯片的制造,用的就是江丰电子生产的高纯度溅射靶材。” 姚力军介绍,江丰电子陆续实现了铝、钛、钽、铜、钨等超高纯金属溅射靶材的研发生产,成为诸多国内外知名厂商的高纯溅射靶材供应商。

  据介绍,超高纯材料的致密化是制备电子信息产业靶材的基础。热等静压设备可实现高纯粉末冶金溅射靶材有效致密化、靶材基板异种金属大面积扩散焊接,可对超高纯原材料的制备提供消除缺陷、达到完美致密工艺要求的设备保障。

  “不妨将靶材和热等静压设备比作食材和高压锅,现有技术条件下,烧制时间变化不大。为提高制备效率,我们需要更大的‘高压锅’,无论制备超长规格的高纯溅射靶材、还是小尺寸靶材,都能提高单位时间的产量。” 宁波江丰热等静压技术有限公司总经理曹欢欢介绍,目前全球芯片处于短缺的状态,江丰电子作为芯片制造领域上游企业,力求保障供应链稳定。

  2018年,江丰电子与川西机器就超大规格热等静压设备进行签约,其有效热区工作高度4.5米、直径1.25米,最高加热温度可达1500℃,最大压力可达2000个大气压。

  技术攻坚创造极端条件

  作为国内静压设备研制领域的龙头企业,川西机器针对该设备在研制过程中可能存在的热区均匀性、气体压力曲线比例控制、加热部件运输等三大风险进行分析,制定了相应的技术路线和处置措施,确保该台超大规格设备研制顺利进行。

  “这台设备有效热区高度为目前国内同类设备热区最高。”川西机器总工程师吴小平告诉记者,4.5米的高度,使得垂直方向上有效热区均匀性±10摄氏度的温度极难保障。

  据介绍,技术团队通过采用加热炉分区控制、变径协调和螺旋绕丝等技术措施,解决了这项技术难题。

  “有效热区是在圆柱形的缸体内,外侧用保温棉缠绕、加装不锈钢隔热桶。其中底座实现单独控温,加热方式可参考电水壶底部的电炉丝。”吴小平介绍道,缸体内被划分为5个温区,为确保对内部温度的实时监测,每区配有两个同时运作的温度传感器。

  此外,由于高纯溅射靶材特殊的工艺需求,要求热等静压设备具有控制精度为±1兆帕的气体压力比例控制功能。川西机器技术团队专门研制了一台具有高精度比例控制功能的气体压缩机以满足其工艺要求。

  “能自主研发这一超大规格热等静压设备,自己以往‘做梦都不敢想’。”姚力军表示,它实现了对控制、压力、机械、温度等多方面技术的整合,补齐了我国在电子材料产业领域的设备短板,将为保障全球半导体产能提供技术支撑。(洪恒飞 徐添怡 记者 江 耘)

[ 责编:赵宇豪 ]
阅读剩余全文(

相关阅读

您此时的心情

光明云投
新闻表情排行 /
  • 开心
     
    0
  • 难过
     
    0
  • 点赞
     
    0
  • 飘过
     
    0

视觉焦点

  • 新疆阿禾公路正式通车

  • 新生代科研力量助推人形机器人加速成长

独家策划

推荐阅读
屠光绍认为,金融机构在应用人工智能时必须在服务投资人与消费者之间寻求平衡,避免AI鸿沟,坚守金融服务大众的初心。鲍建敏倡导构建产学研深度融合、开放共赢的人工智能金融生态体系,搭建跨机构、跨领域的协同创新平台。
2025-07-01 10:13
6月30日,2025温布尔登网球锦标赛在英国伦敦拉开大幕,引发球迷关注。在草地球场,球的速度更快且弹跳不规则,比赛回合较短,发球就成为球员们的重要“武器”。红土球场并不是天然土壤,而是分层分布着碎砖粉、白色碎石灰石、碎石等。
2025-07-01 10:09
7月1日起,医保定点医药机构在销售药品时,必须按要求扫药品追溯码后方可进行医保基金结算;2026年1月1日起,所有医药机构都要实现药品追溯码全量采集上传。步,进入国家医保局微信公众号主页,点击服务、药品追溯信息查询,进入查询页面;或进入国家医保局微信公众号消息对话页,点击医保服务、药品追溯信息查询,进入查询页面。
2025-07-01 10:09
记者从国家航天局获悉,7月1日,该局发布行星探测工程天问二号探测器在轨获取的地月影像图。(国家航天局供图)  月球全色图,由天问二号探测器的窄视场导航敏感器于2025年5月30日15时拍摄,经辐射校正处理后制作而成。
2025-07-01 10:08
龙芯中科近日正式发布基于国产自主指令集龙架构研发的服务器处理器龙芯3C6000系列芯片、工控领域及移动终端处理器龙芯2K3000/3B6000M芯片以及相关整机和解决方案。
2025-07-01 10:06
四大家鱼,即青鱼、草鱼、鲢鱼、鳙鱼,是我国重要的经济鱼类,占淡水鱼类养殖总量的“半壁江山”,尤以长江流域所产鱼品质最优。但人工养殖久了,鱼类品质逐渐下降,需要捕捞野生鱼种来更换,确保鱼类种质“基因库”稳定。
2025-06-30 04:50
FAST如今每天观测时长接近24小时,每年总观测时长超过5300小时,持续不断地为科学家提供宝贵的数据。
2025-06-30 09:52
华南农业大学积极探索应用大数据、人工智能等技术加速育种创新,“华航香银针”就是创新成果之一。
2025-06-30 09:51
在近日落下帷幕的第十五届全国周培源大学生力学竞赛中,一位特殊的“考生”吸引了人们目光。
2025-06-30 09:51
6月29日,在海南文昌卫星超级工厂项目建设现场,各方正全力以赴加快工厂投产进程。
2025-06-30 09:51
作为一所工科见长的大学,近年来,山东科技大学涌现出一批热衷文化艺术的学生:材料学院研究生庄英赞受邀参加《声声入戏——中央广播电视总台首届京剧票友大会》节目;
2025-06-30 04:50
今年“三夏”生产,该农场配备无人驾驶系统的收割机和拖拉机、气吸播种机、精准水肥轮灌系统、自动巡田无人机等智能化装备大显身手。
2025-06-27 10:25
6月24日,国家重大科研仪器研制项目“2.5米大视场高分辨率太阳望远镜”(WeHoST)在四川稻城启动建设配套项目,预计2027年望远镜完成装调并投入试运行。
2025-06-27 10:24
古生物研究表明,包括早期犬齿兽在内的一些远古动物,脑袋为一个没有左右脑半球区分的整体,而现生哺乳动物和典型的进步颌兽类则有左右两个脑半球。
2025-06-27 10:18
6月26日21时29分,经过约6.5小时的出舱活动,神舟二十号乘组航天员陈冬、陈中瑞、王杰密切协同,在空间站机械臂和地面科研人员的配合支持下,圆满完成既定任务。
2025-06-27 10:17
北京大学马丁教授团队26日凌晨在国际学术期刊《自然》上发表一项开创性研究,成功将复杂难处理的混合废塑料变废为宝,为根治全球塑料污染顽疾提供了新的思路。
2025-06-27 10:16
近日,一组“清华学生戴头套看演出”的照片在网络引发热议。脑机接口技术的应用还面临社会伦理与隐私保护方面的争议,如何平衡科学技术创新与社会伦理、监管要求等仍是难题。
2025-06-27 10:15
据中国载人航天工程办公室消息,根据计划安排,神舟二十号航天员乘组将于近日择机实施第二次出舱活动。目前,空间站组合体运行稳定,神舟二十号航天员乘组在轨工作已满两个月,身心状态良好,已做好出舱活动各项准备工作。
2025-06-26 09:48
6600万年前,希克苏鲁伯小行星撞击地球导致非鸟类恐龙灭绝,而就在撞击点附近,一种神秘的夜蜥蜴可能是唯一幸存下来的陆生脊椎动物。白垩纪末期,一颗巨型小行星撞击了墨西哥尤卡坦半岛附近的区域,形成了一个直径超过150公里的陨石坑,导致全球大多数动植物物种灭绝。
2025-06-26 09:47
在全球面临日益严峻的生态危机之际,中国科学院院士、中国科学院生态环境研究中心研究员傅伯杰等提出了一个衡量人与自然共同繁荣程度的全球框架。论文合作作者、联合国开发计划署人类发展报告办公室主任Pedro Conceicao表示,面对当今严峻的地球系统变化,我们必须把人与自然健康、互惠的关系纳入发展愿景。
2025-06-26 09:46
加载更多